税源监控的填写步骤如下：
开通网上申报权限
携带税务登记证和公章到税务局开通网上申报权限。
网上录入
登录电子税务局，使用企业CA证书进行身份验证。
在左侧菜单中找到“特色业务”或相应的股权变更选项，并点击进入。
填写股权变更税源监控信息，包括股东基本信息、股权变动信息、财务状况等。
核对填写的信息无误后，提交审核。
提交纸质材料
审核通过后，携带纸质材料前往税务局进行税源监控手续的提交。
注意事项
确保填写的信息准确无误，特别是税款所属期、本期数据和本年累计数据的区分。
对于小规模纳税人，要注意区分货物劳务和服务，并正确填写在相应的列中。
如果企业法人在多个行政区域内独立纳税，需要按不同的纳税登记识别代码分户填报。
请根据最新的税务规定和流程进行操作，如果有任何疑问，可以咨询当地税务局或专业税务顾问。